薬液の特性を考慮した管理手法の構築技術と薬液の精製技術
化学薬品の使用量および廃液量の削減、省エネルギー/省資源化を達成
この製品へのお問い合わせ
基本情報
廃液量の削減、省エネルギー/省資源化を達成 薬液を管理運用(Chemical Management System)する事により、デバイス製造プロセスの安定化と共に、化学薬品の使用量および廃液量の削減、省エネルギー/省資源化を達成しています。
価格帯
納期
用途／実績例
半導体・液晶パネル業界において、フォトリソグラフィプロセスによるデバイス製造で用いられる薬液を管理運用
ラインアップ（7）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| DDS-21(S) 現像液希釈供給装置 | 現像液の品質安定を確保 |
| DDS-11 現像液濃度管理装置 | 現像液の2つの成分濃度をリアルタイムで自動管理 |
| DMS-II 現像液回収再生装置 | 現像液の成分濃度を一定に再生・供給 |
| DDS-32S 現像液希釈・濃度管理装置 | 現像液の希釈と、現像液の成分濃度管理機能を一体化 |
| DPF 現像液精密濾過装置 | 現像液の再生効率を更に向上させ、再生現像液の品質安定も可能 |
| RMS 剥離液濃度管理装置 | 剥離液の液ライフを延ばし、使用量、廃棄量を削減 |
| SMR シンナー再生装置 | オンサイトで安全にシンナー（有機溶剤）の再生が可能 |
企業情報
ナガセテクノエンジニアリング株式会社（略称：NTE）は1983年に長瀬産業株式会社の機械サービス会社として設立し2009年には社名を現社名に変更、ナガセグループの機器開発・メンテナンスサービスの中核会社としてグローバルに事業を拡大しております。当社は半導体・医療分野などで使用される低温・真空関連機器の販売及びメンテナンス、半導体や液晶パネル等の製造に使用される薬液を再生利用するケミカルマネージメントシステム（CMS）更に光学・機能性フィルムやシートを検査する表面欠陥検査装置（SCANTEC）など３つの主力事業を運営しています。海外に広がる長瀬グループのネットワークを活用しグローバルにエンジニアリングサービスを強化することを目指します。更に新たな挑戦として弊社の高いエンジニアリング技術力を農業の領域に活かし国内の製造業以外のお客様にも役立てるよう取り組んでまいります。