ウェハをチャンバー内でウォータージェットにより1枚ずつ剥離分離する装置
「ウエハ剥離洗浄装置 ME-5700」は、ウエハを手動で搬送アームにセットし、チャンバー内でウォータージェットにより、1枚ずつ剥離分離後、手動で回収する装置です。外形寸法はL1300×W1200×H2100です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【仕様】 ○ウエハを手動で搬送アームにセット ○チャンバー内でウォータージェットで分離 ○1枚ずつ剥離分離 ○手動で回収 ○外形寸法：L1300ｘW1200ｘH2100 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
2009年7月 経済産業省より中小企業ものづくり基盤技術の高度化に関する研究開発計画の認定を受ける。 2010年6月 太陽電池用ガラスエッチングについて、産業技術総合研究所と共同開発を開始 2011年2月 3次元半導体研究センターに8インチケミカル洗浄装置を受注搬入 2011年7月 埼玉県より次世代産業参入支援事業受託 2011年11月アルカリスピンエッチング装置開発。 仕様：大型基盤用（300角） 2012年2月 埼玉県次世代産業参入支援事業終了 2012年4月 太陽電池用シリコンウエハセパレーター新開発。