ダイシングソー、ボンディングマシーン、テープマウンターなどの用途に最適
「ポーラスカーボンチャック」は、テーブル表面にカーボンポーラスを使用した吸着テーブルです。多孔質体の為、ワーク全面で吸着可能で、フィルム等薄い材質でも吸着可能です。また、耐酸性、耐薬品性が必要な場所での真空吸着も可能です。さらに、導電性がある為、帯電を嫌う装置での真空吸着が可能です。各種サイズ、形状に対応可能です。ワークは200mm/300mm/450mmウエハー、ガラス基板、フィルムになります。ダイシングソー、ボンディングマシーン、テープマウンター、スピン洗浄装置、その他半導体製造装置、各種検査装置、印刷関連装置に適しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○多孔質体の為、ワーク全面で吸着可能 ○フィルム等薄い材質でも吸着可能 ○耐酸性、耐薬品性が必要な場所での真空吸着が可能 ○導電性がある為、帯電を嫌う装置での真空吸着が可能 ○各種サイズ、形状に対応可能 ○ワーク：200mm/300mm/450mmウエハー、ガラス基板、フィルム ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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用途／実績例
【用途】 ○ダイシングソー、ボンディングマシーン、テープマウンター ○スピン洗浄装置、その他半導体製造装置、各種検査装置、印刷関連装置 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
2009年7月経済産業省より中小企業ものづくり基盤技術の高度化に関する研究開発計画の認定を受ける。 2010年6月太陽電池用ガラスエッチングについて、産業技術総合研究所と共同開発を開始 2011年2月3次元半導体研究センターに8インチケミカル洗浄装置を受注搬入 2011年7月埼玉県より次世代産業参入支援事業受託 2011年11月アルカリスピンエッチング装置開発。 仕様：大型基盤用（300角） 2012年2月埼玉県次世代産業参入支援事業終了 2012年4月太陽電池用シリコンウエハセパレーター新開発。