取付け方向の制約がなく周辺条件や設計思想に合わせた取付けが行えます。
MARATHON CP-20 CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。取付フランジは、ISO500, ANSI 20“又はワイヤシールフランジの中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【仕様】 ○窒素（L/s） 9,700 ○水（L/s） 29,100 ○アルゴン（L/s） 8,300 ○水素（L/s） 14,000 ○アルゴンスループット（Torr - L/s） 11.3 ○アルゴン排気容量（Std L） 6,000 ○水素排気容量（Std L） 33 ○クロスオーバー（Torr - L） 400 ○クールダウンタイム（分） 190 ○ポンプユニット重量（kg） 77 ○H寸法（mm) 569 ○メンテナンスサイクル（時間） 13,000 【納入範囲（標準構成）】 ○CP-20クライオポンプ ○ヘリウム圧縮機（F-70L/H） ○3Mフレキシブルガスホース ○3Mコールドヘッドケーブル ○ガスホース接続用レンチキット ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
ナガセテクノエンジニアリング株式会社はNAGASEグループの一員として、エンジニアリング機能を核に国内外のお客様にソリューションの提案と提供を行っております。 NAGASEグループ共通の価値観であるサステナビリティ基本方針をエンジニアリング機能により実現することを目指しています。 これまで培った薬液濃度管理技術、真空低温機器メンテナンス技術、画像処理技術等の一層のレベルUpを図るとともに最新かつユニークな技術を積極的に取入れることで、お客様の課題に取り組み、お客様と共に成長してまいります。