金属、ウエハ等の真空雰囲気および低酸素濃度雰囲気下での高速昇温加熱プロセスに！
「PH-224型」は最高温度400℃ 対応の真空ホットプレートチャンバーです。小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。 加熱源に薄型ヒータを採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応いたします。また、観察窓により、ワークの状態が視認できます。 温度コントローラーは、専用タイプによりプロセスの確認に必要なデータを取得（アナログ出力）できます。空冷にて、最高温度400℃対応です。 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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基本情報
【特徴】 ○温度制御範囲:室温～400℃ ○ワークサイズ：最大200×200mm、チャンバー高さ200mm ○昇温スピード：100℃/min ○圧力範囲：-100KPa（真空）~0.1MPa（N2ガス充填時） ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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納期
用途／実績例
金属、ウエハ等の真空雰囲気および低酸素濃度雰囲気下での高速昇温加熱プロセスに
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企業情報
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