小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。
半自動真空ホットプレートチャンバー 「PH-224S-42型」は、小型バッチ炉タイプで、少量品、研究開発に最適です。 加熱源に薄型ヒータを採用しており、高速温度プロファイルプロセスに対応いたします。 ウエハ加熱バッチ炉として、6”ウエハ3枚、8”ウエハ２枚の処理能力があります。 【特徴】 ○最高温度 300℃ 対応 ○温度コントローラーは、専用タイプにより プロセスの確認に必要なデータを取得（アナログ出力）できる ○バルブ動作 自動対応（レシピに合わせてプログラム可能） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○温度制御範囲：室温～300℃ ○ワークサイズ：最大430×270mm ○昇温スピード：20℃/min ○圧力範囲：-100KPa（真空）~0.02MPa（N2ガス充填時） ○酸素濃度計、ピラニ真空計、温度モニター用ポート ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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