真空環境下におけるサセプタをグリップ方式で高速、高精度に位置決めが可能
342mmサセプタ対応真空アライナ SVAL30D1シリーズは、真空環境下におけるサセプタ（化合物半導体、シリコンウエハ等）をグリップ方式で高速、高精度に位置決めを可能にしました。位置決め用センサを真空環境下に配置することで、本気単体のみの設置だけで完了し、装置設計の自由度もUPします。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○ワーク(トレイ)重量4kgまでのアライメントが可能 ○2軸磁性流体式フィールドスルー、溶接ベローズ搭載 ○耐真空限定反射型ファイバセンサを搭載 →アライナ単体での設置が可能 →チャンバの設計自由度が高まる ○トレイ接触部材質はPEEK、Oリング(バイトン) ○トレイ接触部材質、形状のカスタマイズに対応 ○トレイ内のウェーハ配置状態に合わせて任意の角度に旋回 【仕様】 ○被搬送物：φ342mm トレイ ノッチ仕様 重量 5kg以下 ○位置決め精度：センタリング:±0.3mm以内 ノッチロケート:±0.3度以内 ○位置決め時間：ノッチサーチ 4秒以内(持ち直し動作無しの場合) ○センサ：耐真空限定反射型ファイバセンサ ○耐真空度：1.33x10＾-6Pa ○駆動方式：エンコーダ付き２相パルスモータ ○ユーティリティ：電源：DC24V 7A ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
◆信頼を大切にします ご満足いただける製品の提供はもとより、まず「お客様」「取引先」との信頼を経営の基本に据え、大切にしていきたいと考えております。 ◆心 「社員の働き甲斐、生き甲斐が無い職場に心のこもったサービスは生まれない。」との認識に立ち、小さな組織で隅々まで心の通いあった会社創りを目指しています。 ◆スピード どんなに良いものでも必要に間に合わなければ、良いものではない。 ◆技 長年の経験、蓄積したデータ、開発した技術により、ニーズを的確に理解した物創りができます。 ◆お客様の信頼と満足 「心」「技」一体で、「ＪＥＬ製品を導入してよかった」という、最終的なご満足をいただけるものと確信します。
