耐摩耗性5倍、平面度1ミクロンのセラミックス溶射石定盤「i Flat」
通常の石定盤にアルミナ系セラミックスを溶射し、表面を精密研磨、ラップをすることにより平面度1ミクロンを実現しました。 また、従来の石定盤に比べて5倍の耐磨耗性を兼ね備える定盤です。 新規に「i Flat」を製作する事も、お手持ちの石定盤にセラミックスを溶射して「i Flat」にすることも可能です。
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企業情報
特に得意としている超精密鏡面加工は最大サイズが片面機でφ1500まで対応が可能です。 精密ステージ・吸着盤などの平面度・平行度・面粗さ向上が得意です。φ300*10t程度のサイズの吸着盤ですと、平面度0.001・平行度0.001、Ra0.01以下(SUS材)を製作しています。 φ100*5t(材質SUS・Ni・Ti・Mo・Ta・W・セラミックス・Si等）では平面度0.001以下、Ra0.001前後の精度のプレートを製作することが可能です、超高精度な治具や金型としてご使用いただいております。 ◆元気なモノ作り中小企業300社2007に選ばれました。◆ ◆2014年経済産業省「グローバルニッチトップ企業100選」に選ばれました◆2018年経済産業省「地域未来牽引企業」に選ばれました。
