窒素-酸素の混合ガスをプラズマ化し、基板に吹き付け。瞬時に表面の汚れを除去！
電極間で発生したプラズマを処理対象に吹きつけて表面処理するリモート方式を採用した大気圧プラズマ装置です。 液晶基板の洗浄、プリント基板前処理、樹脂基板塗工前処理等、プリンテッドエレクトロニクス関連材料に利用可能。 ガラスや基板、フィルムの表面を高速に改質、洗浄します。 【特長】 ◆窒素+酸素または窒素+乾燥空気を使用 ◆高速洗浄 ◆低ランニングコスト ◆ダメージフリー ◆メンテナンスフリー ◆大型化対応（～液晶第８世代大判ガラス） ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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基本情報
基板やフィルムのサイズに合わせた装置をラインナップしています。 【装置ラインナップ】 ◆対象サイズ：G1～G8 (～2500mm) ◆ユーティリティ：プロセスガスと計装エア、冷却水 ◆プラズマ発生部をご使用の搬送機に搭載することも可能です。 ◆価格、仕様等詳細はお問合せください。
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用途／実績例
■液晶ガラスなどのレジスト塗布前洗浄 ■高密度配線基板のメッキ、エッチング前の濡れ性改善 ■電子部品のボンディング前洗浄 ■レジスト残渣の除去 ※詳細はお問い合わせください。
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企業情報
産業ガスの供給を原点に事業を広げ、ものづくりの現場で活躍する産業ガスやケミカル、人々の生命を支える医療、くらしにかかわるエネルギーや農業・食品、さらには物流、海水、エアゾールなど、多彩な製品やサービスをお届けしています。
