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インラインケミカルフィルター「リソガードPOUフィルター」

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最終更新日:2026年01月30日

日本ドナルドソン株式会社
日本ドナルドソン株式会社
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高純度の空気環境が必要とされる工程での圧縮空気のろ過に好適です!

「リソガードPOU(Point-Of-Use/ 局所)フィルター」 は、塩基性・酸性および有機ガスといった汚染物質除去用の配管接続タイプのケミカルフィルターです。 物理および化学吸着により通過気体中の酸性・塩基性・有機ガスを捕集します。 半導体製造・各種開発実験/ 評価試験、レーザー加工機・光学系機器の保護といった、より高純度のCDA(クリーンドライエア)、不活性ガス、圧縮空気の供給が必要とされるプロセスでのご使用に好適です。 【主な特長】 ■圧縮空気、CDA、N2、その他不活性ガス内の汚染物質除去用として使用可能 ■フィルタ本体ケースにはステンレススチール(SUS304)を使用 ■物理および化学吸着により通過気体中の酸性・塩基性・有機ガスを捕集 ■ガス状の汚染物質除去と併せて、高いパーティクル除去機能を有す 詳しくはダウンロードカタログ(英語版)をご覧いただくか、お問い合わせください。

    その他半導体製造装置有害物質処理
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インラインケミカルフィルター「リソガードPOUフィルター」

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基本情報

【仕様】 ○供給エア: 圧縮空気、CDA(クリーンドライエア)、N2、その他不活性ガス ○捕集対象: 酸性・塩基性・有機ガス ○捕集方式: 物理および化学吸着 ○フィルター本体ケース材質: ステンレススチール(SUS304) ○最大使用圧力: 150psi/10bar ●詳しくはダウンロードカタログ(英語版)をご覧いただくか、お問い合わせください。

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用途/実績例

【用途】 ○局所フィルタとして →半導体製造・各種開発実験/ 評価試験、レーザー加工機・光学系機器の保護といった、より高純度のCDA(クリーンドライエア)、不活性ガス、圧縮空気の供給が必要とされるプロセスでのご使用に好適です。 ●詳しくはダウンロードカタログ(英語版)をご覧いただくか、お問い合わせください。

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インラインケミカルフィルター「リソガードPOUフィルター」

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1915年に米国で創業したドナルドソンは、100年以上の長きにわたり、 フィルトレーションソリューションの世界的メーカーとして、実績を重ね、信頼を得ています。 農機用エンジンフィルターから始まったドナルドソン製品は、 ガスタービン設備などの大型フィルトレーションンシステムから、 最先端電子機器の超微細なフィルター・膜まで、 様々なフィルトレーションソリューションを提供しています。 日本ドナルドソンは、国内に製造工場とテクニカルセンターを併設し、 長年培ったフィルター技術を生かし、日本の市場に合った製品開発と、 お客様のグローバル展開に伴ったサポートを提供しています。 今後も、フィルトレーションテクノロジーのパイオニアとして業界をリードし続けていきます。

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