小型 手のひらにのる液中パーティクルカウンター 0.2μm対応
ウエットプロセスのパーティクル管理に最適 ポイントオブユース、インラインパーティクルモニタリングに多数の実績あり 国内製造・国内メンテナンスの充実のサポート体制
この製品へのお問い合わせ
基本情報
●測定粒径範囲：0.2 μｍ以上、0.5 μｍ以上 ●手のひらサイズの小型 ・ 軽量 ・ 高性能 ●場所を選ばず、ウエットラインに組み込み可能 ●リアルタイム多点モニタリングシステムに対応（オプション） ●純水からレジスト、フッ化水素酸（KS-28BFのみ）まで、さまざまな液体に対応 ●検出効率は、ほぼ100%
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造/精密部品製造ライン 洗浄槽のインラインモニタリング 薬供プラントの送り 純水プラントの送り 薬液製造ライン、出荷検査ライン 等
カタログ（9）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
騒音計・振動計などの音響計測器群、清浄度管理に不可欠なパーティクルカウンタ、防災用・制御用地震計など地震計測システム、さらに超音波診断装置など、福祉および環境問題を中心に製品分野を広げ、長い技術の蓄積とたゆまざる新技術への挑戦によって社会福祉の増進と安全な生活、技術革新に寄与しております。