0.15μｍの粒子を、フォトレジスト溶液やSOG などから測定可能
液中パーティクルカウンター KS-41A フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.15μmから測定 国内製造・国内メンテナンスの充実したサポート体制
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基本情報
●測定粒径範囲：0.15 μm～0.5 μm (10粒子径同時測定) ●測定粒子径は任意設定可能 ●液漏れセンサ内蔵本体内で液漏れ発生時に警報を出力
価格帯
納期
用途／実績例
半導体露光工程 レジスト・SOG使用ライン 半導体工場の薬液受け入れ検査ライン レジスト・SOG製造メーカーの出荷検査ライン 等
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企業情報
騒音計・振動計などの音響計測器群、清浄度管理に不可欠なパーティクルカウンタ、防災用・制御用地震計など地震計測システム、さらに超音波診断装置など、福祉および環境問題を中心に製品分野を広げ、長い技術の蓄積とたゆまざる新技術への挑戦によって社会福祉の増進と安全な生活、技術革新に寄与しております。