0.05 μm、超純水の粒子汚染を監視 純水供給ライン直結 インライン型
半導体製造工場 純水プラント送りで粒子数モニタリング プロセスラインの純水を常にクリーンな状態に
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基本情報
■ 測定粒径範囲：0.05 μm～0.2 μm (10粒径同時測定) ■ 測定粒径サイズをコントローラーで任意に設定可能 ■ 高圧に対応500 kPa（ゲージ圧） ■ D/A コンバータ（4-20 mA）、アラーム出力接点を標準装備
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造工場 超純水プラント送り 半導体製造工場 プロセスライン循環系 半導体製造工場 洗浄槽循環ライン
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企業情報
騒音計・振動計などの音響計測器群、清浄度管理に不可欠なパーティクルカウンタ、防災用・制御用地震計など地震計測システム、さらに超音波診断装置など、福祉および環境問題を中心に製品分野を広げ、長い技術の蓄積とたゆまざる新技術への挑戦によって社会福祉の増進と安全な生活、技術革新に寄与しております。