ウェーハ用アライナ
半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応 小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現 小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします
この製品へのお問い合わせ
基本情報
被搬送物100.4mmサファイヤウェーハ（第1オリフラのみ仕様）/厚み 1mm以下（反り無し） 位置決め時間オリフラサーチ 5秒以内（持ち直し無の場合） 位置決め精度センタリング：±0.2mm以内 オリフラロケート：±0.3度以内 センサ赤色LED透過式センサ ウェーハ保持方式ウェーハグリップアームによるエッジグリップ方式 クリーン度0.1µm/cf クラス1（駆動部排気時） 駆動方式小型ステッピングモータを各軸に使用(モータドライバは内蔵しております) ユーティリティ電源：DC24V±10％ 2A
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造装置など
企業情報
◆信頼を大切にします ご満足いただける製品の提供はもとより、まず「お客様」「取引先」との信頼を経営の基本に据え、大切にしていきたいと考えております。 ◆心 「社員の働き甲斐、生き甲斐が無い職場に心のこもったサービスは生まれない。」との認識に立ち、小さな組織で隅々まで心の通いあった会社創りを目指しています。 ◆スピード どんなに良いものでも必要に間に合わなければ、良いものではない。 ◆技 長年の経験、蓄積したデータ、開発した技術により、ニーズを的確に理解した物創りができます。 ◆お客様の信頼と満足 「心」「技」一体で、「ＪＥＬ製品を導入してよかった」という、最終的なご満足をいただけるものと確信します。