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フィルム表面改質装置(ロールtoロール式)

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最終更新日:2016年12月12日

ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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高機能フィルム・有機EL向けロールtoロールプラズマ装置

・機能性フィルム、有機EL研究用フィルム改質装置 ・幅200~300mmのフィルムに対応 ・常圧プラズマ発生装置を中央に左右往復搬送が可能 ・ガイドフィルム挿入、または保護フィルム合わせ巻取りモードを選択 ・搬送速度0.1~1m/min(実際は4m/min達成)

    その他半導体製造装置
ロールtoロールプラズマ装置.jpg

フィルム表面改質装置(ロールtoロール式)

ロールtoロールプラズマ装置.jpg
ロールtoロールプラズマ装置.jpg
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基本情報

・全面樹脂カバーとHEPAユニットでクリーン度を保持 ・改質時に放出されるオゾン、N2ガスを封じ込め、オ  ゾン吸着フィルターを通して一括排気 ・サーボモーターと自動式ピンチローラーによる定速度搬送 ・ピンチローラーの表面接触は端面10mm ・WD/UWDにはフィードバックセンサー付きイオナイザー装備 ・ガイドフィルム繰り出し ・自社製アルミリール ・ガイドフィルム挿入 ・ガイドフィルムバッファーにより、ガイドフィルムや処理フィルムの  軸へ一定の力

価格帯

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用途/実績例

高機能フィルム、有機EL、LCD向けロールtoロールプラズマ装置

企業情報

ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

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産業用機械

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