コンパクト設計な平行光露光装置です。
本装置は、点光源の超高圧水銀灯を光源とする、コリメーションミラー方式の平行光露光装置です。主要構成は、光源部・吸着式の露光テーブル部・マスク部から成り、露光方式は、真空密着式(ハードコンタクト)の露光方式が可能になっております。要望により、プロキシミティ方式も承ります。 露光管理の為に、積算光量計も搭載し、適正露光量を設定し易くなっており、架台付きで、コンパクト設計な露光装置です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【基本仕様】 ワーク寸法 ：150mmｘ150mm 厚み 約0.1～1.0mm 光学性能 ：超高圧水銀ランプ1KW（空冷式） 、 波長約300～470nm(主波長365、405、436nm） 紫外線照度 約40mw/cm^2 初期値（＠365nm)、照度分布 90％以上 光線平行度 ：コリメーション半角≦1.5°、 デクリネーション角≦1.0° 露光シャッタ：エアー駆動シャッタによる開閉式 露光量管理 ：積算光量計に依る（管理波長365nm）、 20チャンネルメモリー マスク(基本)：ガラスマスク □８インチ 厚み3.0mm 又は 5.0mm 露光テーブル：吸着式テーブル、前後可動方式、真空ポンプ内蔵 上枠タイプ ：ガラスマスク専用枠 又は マイラー枠 ユーティリティ：電源 3相200V 50/60Hz、ブレーカースイッチ30A、10.5KVA ：圧空 約0.5Mpa ：排気 約8ｍ^3/min 外形サイズ ：(W)800mmｘ(D)1470mmｘ(H)1915mm ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
当社は創業1972年以来、ディスプレイに携わる技術者・研究者を支援してきました。事業根幹である各種ガラス基板及び世界標準のEHCセルを国内外へ製造・販売しています。近年、多様な金属成膜基板及び高精細パターンガラス基板の要求が強まっています。周辺装置として客先仕様の小型液晶パネル組立装置やウェットプロセス装置、さらに有機EL・太陽電池の測定検査装置などを専用システムとして、あるいは簡易冶具等も含めて提供しています。
