フルオートで大気に曝されることなく成膜完了！ 〜サンプル測定実施中！〜
従来のスパッタ装置では困難であった“1バッジ内での複数材料の成膜”をワークマスク採用で可能にし、フルオートモードで試料が大気に曝されることなく成膜完了します。 ○省スペースで作業スペースにメリット ○成膜の再現性が上昇するメリット ○工数削減、エラー減少、気分上昇メリット ○ワンボタンで成膜までフルオート→作業効率メリット ○１インチカソードで材料費を削減メリット スパッタを高精度に仕上げる治具やカスタマイズもご相談ください。
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基本情報
装置構成： 成膜チャンバー本体・自立制御盤・チラー・コンプレッサ 処理方法： バッチ処理 スパッタ源： マグネトロン式φ25mm×5 ※詳細はカタログ裏面をご確認ください。
価格帯
納期
用途／実績例
用途： ・有機EL,太陽電池,光学部品,バイオ,半導体,電子部品,自動車,樹脂,特殊膜,MEMS etc..
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企業情報
１９７３年創業以来、電子計測器の販売や受託開発を基軸にして、九州のものづくり産業に関わらせていただいております。アナログ回路設計の技術力を生かし、これまで様々な特注（一品モノ）の計測システムやソフトウェアを開発／製造してまいりました。 蓄積してきた“技術力”を自社開発製品に昇華させ“計測器屋”だからつくれる製品を発表していきたいと考えております。 計測機器の販売は、国内外の大手計測器メーカーの代理店として九州エリアすべてを網羅する営業展開をしております。 研究開発や問題解決に不可欠な計測技術を提供する仕事で、皆様の成功のお役に立てることが出来ることは、誇りであり喜びであります。社員一同「日新日進」の気持ちで精進してまいります。今後ともよろしくお願い申し上げます。