1.ローコスト 2.省電力 3.コンパクト設計
独自の機構により、高周波電源の内部に整合器を内蔵した高周波電源を開発致しました。 従来の製品と比較し出力を500W→750Wにアップさせましたが、サイズはフルラックからハーフラックに収まるサイズにし、徹底したコンパクト化を図りました。
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基本情報
【特徴】 1.ローコスト ・高周波電源の内部に整合器を内蔵することによって、低価格化を実現 ・高周波電源を整合器の位置に設置できるため、高周波電源を納めていたラック等も不要 ・高周波電源‐整合器間のケーブル、整合器給電用ケーブルも不要 2.省電力 ・NRM075A-01では、高効率アンプを採用し、AC-RF変換効率70％以上を実現 ・高周波電源‐整合器間のケーブルが不要の為、ケーブルの抵抗によるロスなし 3.コンパクト設計 ・整合器が内蔵されているタイプとしては、従来タイプの1/2サイズに ・ローカル制御は遠隔操作のハンディコントローラで可能。リモート制御はアナログI/O及びシリアル通信が可能な為、複雑なケーブル配線も不要 ※出力は同軸ケーブルと銅板の2タイプを用意致しております
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
用途／実績例
半導体製造装置等、様々の業界でご採用頂いております
企業情報
RFテクノロジーズは、高周波電源がプラズマプロセスに使われ始めた頃より「実証研究」「素材開発」「表面改質」「半導体製造」「FPD製造」「太陽電池」など・・・高周波関連の開発・設計に携わって参りました。幸いにも、学術研究関係の方々や、世界最先端の技術水準を行く大手半導体製造設備メーカーの方々とも技術提携・技術交流の機会に恵まれ、装置メーカーが対処すべき領域と、電源メーカーが解決すべき領域が複双し合う事象にはお互いの技術のすり合わせがあって初めて解決できた事も数多く体験して参りました。