排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプCRシリーズは、空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。 排気室内には油を使用しておらず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。 冷却水および窒素ガス不要。ランニングコストの低減に寄与します。 【ラインナップ】 ○CR16A ○CR30A ○CR60A ○CR300A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能 ○冷却水および窒素ガス不要。ランニングコストの低減に寄与 ○DCキャンドモータの搭載により省エネ、気密性、軽量化を実現 ○ガスバラスト機構により水蒸気排気が可能 ○サイレンサ内蔵のコンパクト設計 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気 ○真空乾燥などの水蒸気排気（ガスバラスト使用が必要） ○スパッタリング、蒸着などの真空装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。