一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。【アルバック／ULVAC】
ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HRシリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。 大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能。 高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適です。 【ラインナップ】 ○GR60A ○GR90A ○GR180A 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○大気〜真空の繰り返し排気や高圧力領域での 連続運転などの高負荷用途に使用可能 ○高スループットを求めるロードロック室（仕込取出室）の排気に最適 ○汎用インダクションモータに対応 ○防爆モータなどの特殊モータの取り付けが可能（オプション） ○マルチ電圧対応モータを採用 →ご注文時に200V級モータとマルチ電圧モータから選定ください （GR180Aは共通モータ） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気 ○各種成膜装置の仕込取出室の排気 ○真空乾燥や真空ガス置換、真空脱泡などの一般産業用途 ○真空断熱やガス充填などの真空ガス置換 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。