基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能です。【アルバック／ULVAC】
VS650A/VS750A は、1段式ベーン型（回転翼型）の油回転真空ポンプです。大排気量で安定した排気性能が得られ、低振動であることから基礎工事などのポンプ設置に伴う負担を軽減することが可能です。また、冷却方式は空冷と水冷の選択ができますので、設置環境に合わせてお選びください。 【ラインナップ】 ○VS650A-A ○VS650A-W ○VS750A-A ○VS750A-W 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○大排気量の1段式ベーン型ポンプ →650m3/hと750m3/hの2機種を用意 →メカニカルブースターポンプと組み合わせることにより、 さらに大排気量の排気が可能になる ○低振動 →揺動ピストンポンプのような低周波領域の振動が低減でき、 工場建屋の基礎工事が不要になりました。上層階への設置が可能 ○優れたメンテナンス性 →大容量のオイルタンク（油量：Max30L）によりオイル交換サイクルが伸びる →オイルタンク内の掃除用に大きな開口部を設けておりますので、 オイル交換も容易に行える ○オイルミストフィルタを内蔵 →オイルタンク内にオイルミストフィルタを内蔵している →カートリッジ式のフィルタエレメントは交換が容易に行える ○空冷と水冷の選択が可能 →設置環境に合わせて空冷と水冷の選択ができる →油温を下げるためオイルクーラを採用している ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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納期
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用途／実績例
【用途】 ○蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング ○真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気 ○リークテスト装置 ○ガス置換、充填、真空断熱 ○熱処理炉、溶解炉 ○その他各種真空装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。