水晶発振式成膜コントローラCRTMシリーズに用いるセンサです。【アルバック／ULVAC】
CRTS シリーズは水晶発振式成膜コントローラCRTMシリーズに用いるセンサです。 様々な蒸着装置に広くご使用いただくために、豊富なラインナップをご用意しております。 CRTS-M6は水晶発振式成膜コントローラ CRTMシリーズ用に開発された、ロータリ式マルチセンサです。5MHzまたは6MHzのクリスタルが6枚搭載可能で、連続蒸着などにも安心してお使いいただくことができます。 【ラインナップ】 ○蒸着センサ CRTS-4 ○マルチセンサ CRTS-M6 ○マルチセンサ CRTS-12NS 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 [シングルセンサ] ○ベーキングの有無、使用温度などの条件により選択可能 ○コンパクトなセンサヘッドで、装置内での配置が容易 ○長寿命タイプオシレータの選択も可能 [マルチセンサ] ○クリスタルを6枚、または12枚搭載可能 ○真空モータを採用した独自の駆動方式により、高い信頼性を実現 ○クリスタルの交換は、ホルダごと脱着して行えるため簡単 ○クリスタルの発振異常（寿命）を検知し、 自動的にクリスタルの切り替えが可能 （コントローラにCRTMシリーズを使用した場合） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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納期
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用途／実績例
【用途】 ○光学、光通信部品の蒸着 ○有機物の蒸着 ○電子部品、その他の蒸着 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。