UFC フランジを使用した超高真空対応の各種導入機です。【アルバック／ULVAC】
UFC フランジ（ナイフエッジ型メタルシール方式の超高真空対応のベーカブルフランジ）を使用した超高真空対応の各種導入機です。 CMS シリーズは電流・電圧、TDU シリーズは回転運動、TSU シリーズは直線運動を大気側から超高真空容器内に漏れなく導入する端子です。 TVU シリーズは、大気側から超高真空容器内を広視野で観察するための覗窓です。 【ラインナップ】 ○電流導入端子 C M S シリーズ ○超高真空回転導入端子 T D U シリーズ ○超高真空直線導入端子 TSU シリーズ ○超高真空ゼロレングス覗窓 TVU シリーズ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○超高真空対応 →清浄で放出ガスが少ない構造のため超高真空に最適 ○ベーカブル仕様 →ベーキング可能な封着構造によりリークタイト [CMSシリーズ] ○幅広い圧力範囲に対応 →10-2Paから超高真空領域まで使用可能 ○豊富なラインナップ →微小電流用のBNC コネクタ式、 大電流用、高電圧用など各種ラインナップ [TDU/TSUシリーズ] ○固定が容易 →任意の位置でハンドル部の固定が可能 ○低ガス放出構造 →軸シールは、ステンレス鋼製溶接ベローズを使用し、 真空中のベアリングは無潤滑で清浄（TDUシリーズ） →TSUシリーズはベアリングを大気側に配置 ○高い操作性 →ハンドルと回転軸の回転比は１：１で、 回転（正転・逆転）角度を読み取り可能（TDUシリーズ） →ハンドル１回転あたり1mmのストロークのため、 微調整が可能（TSUシリーズ） [TVUシリーズ] ○ゼロレングス・薄型 →フランジから窓部がゼロレングス構造の薄型窓のため、 広い有効可視径を実現 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○各種超高真空装置 ○各種研究開発装置 ○各種成膜装置 ○その他真空装置全般 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。
