10kWおよび20kW出力のスパッタリング用DC電源です。【アルバック／ULVAC】
DPG-10およびDPG-20は10kWおよび20kW出力のスパッタリング用DC電源です。 信頼性のある部品と回路で構成しております。 長年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。 【仕様】 ○入力電圧 AC208V ○変動範囲 AC187 ～ 229V ○相数、周波数 3相 50/60Hz ○入力接続部 コネクタ接続 ○入力容量 13.5kVA以下 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【特徴】 ○軽量・省スペース →設置性に優れた軽量・省スペース設計 ○出力電圧範囲が選択可能 →800V仕様に加えて1000V仕様もラインアップ ○豊富なアークハンドリング →プラズマを熟知した豊富なアーク制御方式 ○冷却水不要 →強制空冷方式のため冷却水が不要 ○高速アーク遮断回路を搭載可能 →標準でも低アークエネルギーを実現 →オプションで高速アーク遮断回路を搭載可能 ○自由な並列運転機能を搭載可能 →DPG-10、DPG-20：オプションの並列運転機能により自由に10kWと 20kWを組み合わせて最大12台までの並列運転が可能（最大240kW） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格情報
お問い合わせ下さい。
納期
※お問い合わせ下さい。
用途／実績例
【用途】 ○FPD 用スパッタリング装置 ○半導体用スパッタリング装置 ○タッチパネル用スパッタリング装置 ○産業コーティング用スパッタリング装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。