高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。【アルバック／ULVAC】
RFS-N シリーズは13.56MHz・0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。 さらにRF電源にオートマッチングコントローラ機能を内蔵していますので、本体ユニットのみでRF 電源の電力制御、マッチングシステム制御が可能です。 【ラインナップ】 ○RFS-1305N/1310N ○RFS-1330N/1350N ○MBX-1305N/1310N ○MBX-1330N/1350N 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○高効率アンプ採用 →電力変換効率の良いRF回路を構成し、省エネルギー ○高速オートマッチング →高速アルゴリズムにより高速オートマッチングを実施 ○RF電源にオートマッチング機能を内蔵 →本体ユニットのみでマッチングシステム制御が可能 →内蔵のコントローラでRF電源・マッチングボックスの マニュアル操作も可能 ○柔軟な制御形態に対応 →外部アナログ制御、シリアル通信制御が可能 ○高信頼性 →装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○スパッタリング装置 ○CVD 装置 ○プラズマエッチング装置 ○RFイオン源 ○ニュートラライザ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。