クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。【アルバック／ULVAC】
真空機器メーカーとして培ってきたアルバックの技術を投入した、クリーンで信頼性の高い真空搬送ロボットおよび搬送用プラットフォームです。 各種真空機器に対応する幅広い製品をラインアップしています。 【ラインナップ】 ○高真空対応ロボットELEC-RZ（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○高真空対応ロボットCOVOT（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○高真空対応ロボットCOVOT-LC（φ200mm/300mm ウェーハ対応） ○中真空対応独立4本アームロボットCOVOT-6（φ300mm ウェーハ対応） ○真空搬送プラットフォームNCH シリーズ（φ200mm/300mm ウェーハ対応） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○多彩なアーム構成 →ハンドの数や回転半径、 ストロークなど装置仕様に応じたアームを選択できる ○高精度搬送 →剛性の高いアームと信頼性に優れたアクチュエータを採用し、 安定した搬送が行える ○高真空対応 →10-6Paまでの高真空に対応（ELEC-RZ/COVOT） ○真空搬送プラットフォームも提供 →ロボットおよびコアチャンバー/ ロードロック室などを 組み合わせた真空搬送プラットフォームも各種ラインアップしている ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○各種半導体向け製造装置でのウェーハ自動搬送 ○各種真空実験装置での基板搬送 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。