測定精度向上！真空計の状態確認が一目でわかるLEDを搭載しています。【アルバック／ULVAC】
真空計G-TRANシリーズ マルチイオンゲージST2-1/ST2-2は、真空計にとって厳しい環境下であっても三極管型の利点を最大限に生かした長寿命を実現。 ULVACは、真空計にとって厳しい環境でもより長く、しかも精度よく測定可能な電離真空計を開発・製品化。 三極管型メタル電離真空計は、ランニングコストを大幅に抑え、さらに各種プロセスの歩留まり向上においてもお役立て頂けます。 【特徴】 ○三極管型メタル電離真空計（特許申請中） ○測定子が小型・メタル製 ○広帯域測定 ○異なる測定範囲の測定子が接続可能 ○正確な大気圧測定 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○型式：ST2-1 標準タイプ ST2-2 通信タイプ ○接続可能センサ →マルチイオンゲージセンサ 1本 →ピラニゲージSPU 1本(オプション) →圧力センサユニットSAU1本(オプション) ○測定圧力範囲：1×10⁻⁵～1×10⁺¹Pa ○測定精度：1×10⁻⁴～3Pa ±10％ ○繰返精度：1×10⁻⁴～3Pa ±2％ ○サンプリング時間：50ms 5回の移動平均処理 ○測定値出力：出力電圧 DC0～10V LOG出力 0.75V/1桁 ○更新時間：50msec ○制御入力信号：FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF オープンコレクタ入力で動作、負論理 ○制御出力信号：センサエラー、セットポイント1/2/3 エミッションバリッド、フィラメント電力監視 定格：24Vmax、50ｍAmax、飽和電圧 1V ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○有機EL・タッチパネルなどの製造装置の到達圧力確認および プロセス管理用に真空炉など各種産業用真空装置の到達圧力確認用 ○ハイドロカーボン（油系）が多い雰囲気での測定 ○真空部品加工時の切削油や洗浄液が残存している雰囲気での測定 ○真空計測定子の交換頻度の低減を目指したい真空装置用 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。
