姿勢精度2秒以下の高精度を実現！検査装置の位置決めに好適な超精密XYステージ
「セラミックス製 超精密XYステージ」は、液晶パネルや有機ELパネルなどの検査装置の位置決めステージに使用可能な高精度のXYステージです。 【特長】 ■高純度アルミナセラミックス製エアースライダーガイドを採用。 ■真直度精度：1μm以下を実現。 ■姿勢精度：2秒以下の高精度を実現。 ■最長3500stまで可能 ■再現性0.2μm以内可能 ■付属品：検査成績表 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。 ※XYステージのデモ機を弊社展示スペースにて常設しております。 是非、現物をご確認ください。
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基本情報
【用途事例】 ■液晶パネル検査装置（G4.5,G5,G8） ■XYテーブル ■位置決め装置 ■画像処理検査 ■FPD検査装置 ■光導波路位置決め装置 ■ウエハー検査 ■ウエハー加工 ■レーザー加工 ■精密組立装置 ■精密加工装置 ■液晶パネル製造工程装置 ■半導体製造工程装置 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
価格帯
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
【用途事例】 ■液晶パネル検査装置（G4.5,G5,G8） ■XYテーブル ■位置決め装置 ■画像処理検査 ■FPD検査装置 ■光導波路位置決め装置 ■ウエハー検査 ■ウエハー加工 ■レーザー加工 ■精密組立装置 ■精密加工装置 ■液晶パネル製造工程装置 ■半導体製造工程装置 など
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企業情報
新東Ｖセラックスでは、セラミックスの特性を活かし、独自技術でセラミックスに新たな付加価値を与えることで、半導体、液晶、電子部品を始めとした製造・検査装置の部品から、直定規、四直角マスターなどの超精密測定器具やＸＹステージといったセラミックス応用製品まで、あらゆる分野で多くの実績と高い信頼をいただいています。 また、セラミックス3Dプリンター販売では、今まで対応が難しかった複雑形状品や、軽量化・高機能化を実現する為の中空構造品の製品化が容易となり、航空宇宙分野から生体医療分野など、より広い分野・業界でご採用いただいています。
