高真空度クラス対応の位置決めスイッチ
こんなお悩みございませんでしょうか? ・真空環境下での検知をしたい そんなお悩みを、高真空度クラス対応形スイッチで解決! ▼詳しくはこちら
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基本情報
高真空度クラス10^-5Pa対応。
価格帯
納期
用途/実績例
太陽光発電真空装置やFPD向け真空成膜装置向けに
詳細情報
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使用事例 1 ■太陽光発電(PV)真空装置 ガラス基板の位置決め
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使用事例 2 ■FPD向け真空成膜装置 ガラス基板のアライメント
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使用事例 3 ■FPD向け真空成膜装置 マスクのトレイ着座検出
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使用事例 4 ■FPD向け真空成膜装置 キャリアの原点出し
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高真空度クラス対応形スイッチの特長 ■真空チャンバー内での半導体ウェハーの有無検出 10^-5Paの高真空度クラス対応で真空環境下でも検知可能 曇りの影響による誤検知の心配がありません。
企業情報
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