リニアエンコーダ内蔵により1nm分解能で位置決め 可動範囲最大50mm
光学式リニアエンコーダに対して、1nm分解能と±2nmの再現性を実現した超精密位置決め装置（フィードバックステージシステム）。 ピエゾを利用した位置決め装置と比較し、 『安価』『簡単制御』『大きなストロークがとれる』ため、 幅広い用途で利用されています。 ストロークは『 20mm 』『 40mm 』『 50mm 』までラインアップ。 位置決めでお悩みでしたら、是非お問い合わせください。 ■詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。
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基本情報
■ステージ 最小分解能：1nm（内蔵スケールの読み取り値に対して） ストローク：20mm～50mm 最大移動速度：5mm/sec（UPシリーズ） ■コントローラ 制御軸数：2 最小指令単位：1nm 最大動作速度設定値：6mm/sec（ステージの最大移動速度が優先されます） 制御インターフェース：ジョグコントローラ、緊急停止入力、GP-IB、USB、Ethernet、汎用I/O
価格帯
納期
用途／実績例
微細な位置決めを必要とする様々な分野。 検査装置及び露光装置、レーザー加工装置への応用 バイオ関係の高再現性が必要な顕微鏡用ステージなど
ラインアップ（7）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FS-1050UPX | 1nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、50mmストロークのステージ |
| FS-1040UPX | 1nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、40mmストロークのステージ |
| FS-1020UPX | 1nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、20mmストロークのステージ |
| FS-1050SPX(MD) | 1nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、50mmストローク、高トルクのステージ |
| FS-1040SPX(MD) | 1nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、40mmストローク、高トルクのステージ |
| FS-1020SPX(MD) | 1nm分解能（内蔵スケール読み取り値）、20mmストローク、高トルクのステージ |
| FC-911 | 1nm分解能ステージ用のコントローラ |
カタログ（5）
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企業情報
シグマ光機グループは、グローバルブランド『OptoSigma』の名の下、国内外のマーケットに対して 「光ソリューション・カンパニー」としての使命、そして「感謝」「挑戦」「創出」の気持ちを胸に、 さらに積極的に事業を展開し継続的な成長を果たすべく全社一丸となって挑戦してまいります。 今後とも、真の「ものづくり」を追求するシグマ光機グループに、皆様のご理解とご支援を賜りますよう、心よりお願い申し上げます。
