真空中で使用可能！リニアエンコーダ内蔵でサブミクロン分解能の位置決めステージ
内蔵の光学式リニアエンコーダでステージの位置を検出してフルクローズドループ制御を行っているため高分解能、位置再現性に優れています。 アウトガス対策を施し、真空中で使用可能となっております。 100mmの範囲を動作可能でその分解能はコントローラによって 「50nm」または「100nm」になります。
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基本情報
最小分解能：50nm（FC-411使用時） ：100nm（FC-111使用時） 最大移動速度：2mm/sec ストローク：100mm 対応コントローラ：FC-411 or FC-111 対応真空度：10^-4 Pa ■□■詳細は資料請求またはカタログをダウンロードして下さい■□■
価格情報
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納期
用途／実績例
フィードバックステージシステムは近年様々な分野で使用されています。 代表的な使用分野は情報通信関連・光関連・半導体関連・バイオ関連などになります。 例）MEMSの検査時の位置決め 光学系のディレイステージ 顕微鏡ステージ 走査型電子顕微鏡 X線利用技術 超微細加工 精密な位置決めや再現が必要な検査装置や 実験機などに利用されています。
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企業情報
シグマ光機グループは、グローバルブランド『OptoSigma』の名の下、国内外のマーケットに対して 「光ソリューション・カンパニー」としての使命、そして「感謝」「挑戦」「創出」の気持ちを胸に、 さらに積極的に事業を展開し継続的な成長を果たすべく全社一丸となって挑戦してまいります。 今後とも、真の「ものづくり」を追求するシグマ光機グループに、皆様のご理解とご支援を賜りますよう、心よりお願い申し上げます。