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X線透過式2次元測定機『MVX-818』

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最終更新日:2019年06月13日

株式会社ムラキ
株式会社ムラキ
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層間ズレの分析や露光フィルムの測定などこれ1台で行えます

『MVX-818』は、X線カメラにより、多層基板のパターン透視確認や パターン座標測定を行う、X線透過式2次元測定機です。 露光から完成までの各工程で測定をすることにより、基板の膨張・収縮・ 変形の分析が可能。 CCDカメラも搭載している為、X線では測定できない露光フィルムなども 測定ができ、工程ごとの分析を1台で行う事ができます。 【特長】 ■多層基板の製造工程の前後に測定データをフィードバック ■X線カメラのズーム機能 ■大パターンから小パターンの高精度な測定が可能 ■安定した測定 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

    その他機械要素
『MVX-81』.PNG

X線透過式2次元測定機『MVX-818』

『MVX-81』.PNG
『MVX-81』.PNG
  • 関連リンク - http://www.muraki-ltd.co.jp/pwb/products/measure/m…

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基本情報

【仕様】 ■測定基板サイズ:700×600mm ■測定基板厚t:1<6mm ■X線カメラ:1unit ■CCDカメラ:1unit ■X線発生装置:90Kv MaX 0.1mA Max ■最小表示単位:0.001mm ■周囲温度:22℃ ±1 ■周囲湿度:60±10%RH ■電源:220V(3相)50/60Hz 3KW ■機械寸法:1750W×2050D×1760H ■重量:3000Kg ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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