シリコン基板の厚みを高感度でリアルタイム測定
Siウェハ厚み測定器は、精密に発振波長を制御された波長可変光源、集光センサー、受光器(PD)から構成されております。 集光センサーからの光を測定サンプルの表面および裏面で反射させ、再び集光センサーを通ってPDで干渉波を発生させてサンプルの厚みを測定致します。 Siウェハ以外にもご相談承ります。 詳しくはカタログをダウンロードまたはお問合せ下さい。 【特長】 ・干渉計測のために高純度の波長可変光源を高速掃引 ・波長掃引方式のため、高感度測定が可能
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株式会社アルネアラボラトリは2001年8月に設立し、光通信、加工用レーザ、センシング、計測器など、独自の光技術を駆使して様々な分野に貢献して参りました。 私たちは光技術以外にも高周波回路技術やアナログ/デジタル回路技術、ソフトウェア技術などを専門としたエンジニアを揃え、光モジュールから検査ラインやシステムソリューションなど様々なご要望にお応え出来る体制を整えております。 日々進化する未来のために当社で培ってきた知識と技術で、皆さまにご満足頂ける新たな製品やシステムを提供致します。 ご購入前に無料でテスト機をお試し、ご評価頂くことも可能です。 カタログ掲載製品以外でもお困りのことがございましたら、お気軽にご相談ください。