膜厚測定向けの干渉スペクトル測定システム
OP-FLMT-IFSは、小型で取り扱い簡便なFlame-T分光器をベースに、ハロゲン光源、2分岐光ファイバ、広帯域ファイバコリメータおよび分光測定用標準ソフトウェアOPwave+を組み合わせた、膜厚測定向けの干渉スペクトル測定システムです。 取得した干渉スペクトルをユーザ自身のプログラムを用いて解析可能なシステムとなります。 またFlame-T分光器はユーザ独自の膜厚測定システムに検出器として組込可能なコンパクトモデルです。
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基本情報
特長 ・ 低価格・取り扱い簡便 ・ 簡易接続(ハードウェア)：USBバスパワー ・ 簡易設置(ソフトウェア)： OPwave+ ・ 膜厚、光学定数決定のための反射率測定モード ・ ソフトウェア：容易なリファレンス、ダーク取得 ・ 独自の膜厚測定システムに組込可能な分光器サイズ
価格帯
納期
用途／実績例
・ 半導体： 各種シリコン、フォトレジスト、酸化膜、窒化膜 ・ 光学材料： ARコート、レンズ、フィルム ・ FPD： 液晶、OLED、ITO膜 ・ 太陽電池分野： アモルファスシリコン、微結晶シリコン ・ 機能性フィルム： PET、ARフィルム、ハードコート
詳細情報
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測定構成例 分光器、ハロゲン光源、2分期ファイバ、広帯域コリメータ、分光測定用標準ソフトウェア、測定ステージ（オプション）
この製品に関するニュース（1）
企業情報
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