高平坦度・高位置精度のキャリア
『シリコンキャリア』は、半導体製造装置を改造せずに、 小口径ウエハや異形ウエハ等を搭載して搬送、そのまま大気中、 または真空中でのプロセスを可能とする高精度キャリアです。 ２～１２インチシリコンウェハを、お客様の基板が搭載可能な様に 加工（研削・研磨）、組み立てを致します。 また、シリコン以外に石英・金属・セラミック等各種材料にも対応可能です。 ご要望の際は、お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■高精度研削（深さ 30μm ～、 φ200mm の座グリ穴加工など) ■高平坦度 ■高位置精度 ■各種装置に合わせた固定方法 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【品名一覧】 ■露光用研削シリコンキャリア ■イオン注入用シリコンキャリア ■エッチング・デポ用シリコンキャリア ■アニール用シリコンキャリア ■カスタムSC ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
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企業情報
Carrier Integration株式会社は、主にシリコンキャリアの製造及び販売を行っている会社です。露光装置シリコンキャリアやイオン注入装置用シリコンキャリアなどを取り扱っております。また、ご要望によってはシリコン以外の材料も加工致しますので、お気軽にご相談下さい。
