薬液洗浄工程をなくすことでウエットベンチの設置面積を削減可能！
『AURORA（オーロラ）』は、イオン注入後のレジスト剥離が出来る 低温レジスト剥離装置です。 プラズマ処理とオゾン水処理を組み合わせることで残渣なしで剥離できるほか、 下地膜（Si、SiO2など）を膜べりなしでの剥離にも対応します。 また、硫酸過水、アンモニア過水等の薬液洗浄工程をなくすことで、 ランニングコストおよび工程数を削除可能。 速い除去レート(2～4μm/min)により高いスループットが達成できます。 【特長】 ■剥離性能 ■コスト低減 ■工程数削減 ■設置面積削減 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【基本構成】 ■搬送ロボット ■プラズマ処理装置 ■オゾン水処理装置 ■高濃度オゾン水発生装置 ■加熱ユニット 【仕様】 ■チャンバ数：2チャンバ（プラズマ処理1チャンバ、オゾン水1チャンバ） ■ウエハ口径：150, 200, 300mm対応 ■カセット数：2カセット ■用 力：DIW、N2、O2、CO2、CDA ■本体外形寸法：1100（W）× 2050（D）× 2000（H） ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【対象アプリケーション】 ■イオン注入後のレジスト剥離 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
企業情報
HUGパワー株式会社は、半導体で培った最先端洗浄技術をコアに産業用洗浄装置の開発・設計・販売を通して薬液使用量の削減、及び地球環境負荷の低減に貢献していきます。 これまで多くの方からの支援を受け、ようやく2009年から製品化の目途が立ち、量産ラインへの出荷が始まりました。現状は多くの有害な薬液を使用している洗浄工程を根本から変えたいという想いで、蒸気洗浄技術をメインに日々開発に力を注いでおります。
