生産設備・研究開発向け！薄膜電子部品工程における一連のプロセスを提供！
大村技研の『フォトリソグラフィープロセス装置』は、薄膜電子部品工程 における一連のプロセスを高精度高信頼性で提供するシステムです。 洗浄・コーター・現像・剥離・エッチングなどの生産設備および 研究開発向けの設備を提供します。 「全自動スピンエッチング装置」は、ウエハを1枚ずつ取り出し、 自転させながら薬液を吹き付け、エッチングから乾燥までを 自動処理する装置です。 【特長】 ■薄膜電子部品工程の一連のプロセスを提供 ■様々な装置で対応 ■全自動スピンエッチング装置もラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【プロセスフローと対応装置】 ■洗浄 ・スクラブ式 ・スプレー式 ・UV洗浄 ■レジスト塗布 ・スピンコータ ・ロールコータ ・DIPコータ ■プリベーク ・ホットプレート ・クリーンオーブン ・IR炉 ■露光 ■現像 ・スプレー式 ・パドル式 ■ポスト・ベーク ・ホットプレート ・クリーンオーブン ■エッチング ・スプレー式 ・ディップ式 ■剥離・洗浄 ・スプレー式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■薄膜電子部品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
大村技研株式会社は機械加工・高圧／特殊ガス配管・溶接・組立・設計、中古半導体製造装置再生・付帯工事・設計をおこなっている企業です。 当社の研かれた技術は半導体業界、液晶、燃料電池、エコ関連、食品工場、各種製造プラント、薬品研究所、研究機関等、精密性・緻密性・安全性を厳格に求められる多くの業界で採用されています。 当社では“困ったときには大村技研”を合言葉に活動しております。常により柔軟・迅速・高度であること意識し、お客様に100％ご満足いただくことを追求しております。