不活性ガス雰囲気中で基板・ターゲットの交換ができる、研究開発用小型スパッタ装置
『SSP2500G グローブボックス付きスパッタ装置』は、不活性ガス雰囲気中で基板交換およびターゲット交換ができる、高品質と低価格を実現した研究開発用小型スパッタ装置です。 小型ながら2インチカードを2基備え、真空を破らずにターゲット基板間の距離を変えることが可能で、基板を加熱しながら回転成膜することができます。また、前面ハッチと基板チャッキング機構により、容易に基板交換できる構造としています。 スパッタチャンバー前面ハッチ部に真空置換可能なパスボックス付き簡易グローブボックスを直結しています。大気に曝さずに、基板交換、ターゲット交換が可能です。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【性能】 ■真空性能 到達圧力：≦9×10^-5Pa ■成膜性能 膜厚分布：φ100mm area≦±5%（回転成膜） ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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菅製作所は、真空技術、高温技術をコアテクノロジーとし、デバイス開発、 材料開発等の研究開発の現場にお役に立てる研究開発支援機器を販売 しています。 また、補機類駆動用のクラッチシステムを中心とした漁労機等の船舶用機器の 提供や、汎用マイコン、汎用メモリへの書込みサービスも行っています。 お客様の多様化するニーズを高い技術力でサポートいたします。