両面露光対応機などUV露光装置を豊富にラインアップ!R&Dから量産まで対応
『UV露光装置』は、マニュアルからセミ/フルオートマチック、両面露光 対応機まで取り揃えています。 豊富な製品ラインアップでR&D~量産まで対応可能。 半導体デバイスやMEMSデバイス、マイクロ流体チップなど様々な用途に 使用されています。 UVライトソースのみの販売も行っています。 【ラインアップ】 ■コンタクトマスクアライナ:Model 200 ■両面露光対応マスクアライナー:Model 800MBA ■両面露光対応マスクアライナー:Model 6000 ■UVライトソース:Series30 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【用途】 ■半導体デバイス ■MEMSデバイス ■マイクロ流体チップ ■UVナノインプリント ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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