昇温・冷却時間を短縮し高速インプリントを実現！一括転写を可能にしたプリンター
明昌機工の『NM-0606SQ』は、12インチウエハーのスピーディーな 一括転写を可能にしたナノプリンターです。 昇温・冷却時間を短縮し、高速インプリントを実現。 ナノメートル構造を精度良く転写可能なサーボプレス機となっています。 オプションで、ウエハーの位置合わせを自動化する アライナー機能を搭載できます。 【特長】 ■フレキシブル条件設定 ■3種類のナノインプリント機能 ■アライナー機能（オプション） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■適応基板形状 ・レジスト基板：外径300mm×300mm ・モールド：300mm×300mmまで ■外径寸法： ・装置本体：1060W×1540D×2075H ・冷却水循環装置：354W×384D×851H ■重量：約850kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、メカトロニクスの最新技術を駆使し、品質の継続的改善に努めることにより、顧客の要求・信頼に応える。又、地球環境と地域社会に調和し、持続可能な事業活動を推進するため、継続的な環境保全活動に取り組む。
