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精密微細加工技術を駆使した『半導体製造装置向け部品・製品の製作』

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最終更新日:2023年09月11日

東レ・プレシジョン株式会社
東レ・プレシジョン株式会社
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精密微細加工・仕上げ・精密洗浄・クリーン梱包をトータルで対応OK。 多品種対応パーツフィーダ、薄膜シート吸着プレートの紹介。

当社では、高精度な“微細孔加工”や高品位な“鏡面仕上げ加工”などによる 『半導体製造装置向け部品・製品の製作』を行っています。 加工から仕上げ、精密洗浄、品質検査、 梱包・出荷までトータルで対応できる点も大きな特長のひとつ。 真空装置向け部品も数多く取扱い、放出ガスを抑制する高品位な仕上げ加工を行います。 また、精密洗浄の検査・梱包までをクリーンルームで行い、 製品は真空パックでお届けし、お客様の装置へダイレクト装着を可能にします。 また、電子部品のカケ・キズ・静電気を抑制する無振動式パーツフィーダ『トレフィーダ』の製造販売も行っています。 現在、製作例を紹介した「精密加工 技術ハンドブックVol.4」を進呈中。 【当社の技術・サポート】 ■精密微細孔加工 ■超仕上加工 ■精密微細部品加工  ■精密微細溝加工 ■金属3Dプリンター造形 ■設計/製作サポート ※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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精密微細加工技術を駆使した『半導体製造装置向け部品・製品の製作』

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基本情報

【技術ハンドブック掲載内容(抜粋)】 ■超精密微細孔加工技術 合成繊維紡糸ノズルで培った高精度微細孔加工技術の紹介。 加工法:FIB、マイクロドリル、マイクロプレス、レーザー、超微細放電加工 特長:高品質な孔加工、1秒に100孔の高速精密微細孔加工 ■精密仕上げ加工技術 高品位で高精度な面粗度でスパークを制御。表面粗さ:Ra0.01μm ■半導体製造装置向け部品・製品例 光や電子ビーム等の制御を行うアパーチャ、コリメータ、光学系ノズルの紹介 ■トレフィーダ(パーツフィーダー) 無振動で部品を整列搬送。専用アタッチメントで多品種切替え対応。 ■吸着プレート・枚葉搬送治具 吸着痕を付けづに薄膜シートを吸着固定 ■SIM像トモグラフ FIB装置でスライス断面加工と断面SIM像を取得 ※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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精密加工技術を駆使した『半導体製造装置向け部品・製品の製作』技術ハンドブックVol.4

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この製品に関するニュース(1)

「国際航空宇宙展2018東京」に出展します ※来場者には精密技術ハンドブックを進呈!

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東レ・プレシジョン株式会社は、 2018年2018年11月28日(水)~11月30日(金)まで東京ビッグサイトにて開催される 「国際航空宇宙展2018東京」に出展します。 ■小間番号: 8111 (東Hall8) 本展示会は、国内外から多数の主要航空宇宙関連企業が出展する航空宇宙分野の展示会です。 弊社ブースでは、金属3Dプリンター造形品サンプルや精密洗浄など 高品質な微細加工部品(光学部品等)を数多く展示・ご紹介します。 ※来場者の方には金属3Dプリンター造形に関する精密技術ハンドブックを進呈! (名刺との交換でのお渡しになります) 是非、この機会に弊社ブースまでお立ち寄りください。 皆様のご来場心よりお待ちしております!

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精密微細加工技術は、現代の先端産業を支える共通基盤技術としてますます重要視されております。 東レ・プレシジョン株式会社は、1955年の創立以来、合成繊維製造のキーテクノロジーであります紡糸用口金を製造し、 日本及び欧米を含む世界の合繊メーカーに提供することにより合繊業界の発展に貢献してまいりました。 一方でこの間に培った精密微細加工技術の経験と技術は他の産業分野にも幅広く生かされております。 精密加工部品は航空機、産業ロボット、計測制御機器等の重要な部分に組み込まれており、 また独自で開発し設計・製作した流体用特殊ノズルは各種産業機械の重要なコンポーネントとしてその機能を十分に発揮しております。 サブミクロン単位を誇る超精密微細加工技術は、高度情報化社会を実現するために不可欠の光通信分野にも生かされています。 フェルール、アダプター等の光部品に加え各種光デバイスの商品化も行ってきました。 このように超精密微細加工技術のパイオニアとして、今後とも高精度、高品位の製品を送り出すことにより社会に貢献いたします。

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