ローコスト、省スペースに高速な外観検査を実現！AI搭載のウェハ外観検査装置
『Cosmo Finder』は、顕微鏡を利用したウェハの外観検査を画像処理を 使って高速・高精度に実現する装置です。 画像処理ソフト開発30年以上の経験から多くのお客様の要望を取り入れ、 様々な欠陥の認識に対応することが可能です。今まで検出が困難だった 異物やキズなども威力を発揮します。 また、本体内部に光学ユニット、駆動ユニット、画像処理ユニット、 制御ユニットをビルトインし、省スペースながらハイパフォーマンスを実現。 製造工程からR&D部門まであらゆるシーンで利用していただくことができます。 【特長】 ■省スペース設計 ■画像解析30年以上の経験が高精度な検査を実現 ■AIによる分類技術が課題解決をサポート ■様々なオプション対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■測定対象ウェハ：ベア、パターン付、膜付 ■ウェハサイズ：2インチ～8インチ ■検査項目 ・異物、クラック、サイズ（OK,NG判定） ・輝度ムラ、断線、パターン認識（OK,NG判定） ・寸法（穴・長短径） ■検出方法 ・顕微鏡画像処理方式（高速パターンマッチング、AI分類、輝度抽出） ■検出時間：約10min/wafer（6インチウェハ、分解能0.69umの時） ■検出感度：約2um以上 ■カメラ：2/3型500万画素CMOSカメラ ■光源：白色LED ■オートフォーカス：レーザー三角測距式、合焦時間100msec以下 ■装置寸法：W635 H1355 D998（mm） ■装置重量：約130kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
画像処理技術を駆使したアプリケーション開発を専門としており、特に計測分野で数多くの実績を重ねてきております。累計販売数 10,000本以上の実績がある画像解析ソフトウェアWinROOFなどパッケージ製品の開発・販売および、お客様のご要望に合わせた受託開発など、お客様のお困りごとを幅広いご提案で解決いたします。 ソフトウェアだけでなく、ハードウェアを組み合わせた自動化装置も制作しております。