ダイヤモンドワイヤーを用い脆性材料の端面出し、シリコンウエハ、ガラス、水晶等の切り出しに最適
・ダイヤモンドワイヤーソーを使用し、試作、研究用切断に最適です。 ・高精度５相マイクロステッピングモータークローズドループ方式を使用したXYテーブルでの自動切断が可能です。X軸は回転機構が付属しています。 ・一定の応力での切断切断時にワイヤーのたわみを高精度位置センサーで探知し、フィードバックをステッピングモーターにかけ移動速度を制御することにより一定の応力になることが可能。 ・シンプル設計、タッチパネルによる簡単操作。
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用途／実績例
試作評価用として１本のワイヤーでワークを切断します。 ダイヤモンドワイヤーを用い脆性材料の端面出し、シリコンウエハ、ガラス、水晶等の切り出しに適しています。
詳細情報
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本体 安全カバーはオプション
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冷却循環器 オプション
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企業情報
2009年7月経済産業省より中小企業ものづくり基盤技術の高度化に関する研究開発計画の認定を受ける。 2010年6月太陽電池用ガラスエッチングについて、産業技術総合研究所と共同開発を開始 2011年2月3次元半導体研究センターに8インチケミカル洗浄装置を受注搬入 2011年7月埼玉県より次世代産業参入支援事業受託 2011年11月アルカリスピンエッチング装置開発。 仕様：大型基盤用（300角） 2012年2月埼玉県次世代産業参入支援事業終了 2012年4月太陽電池用シリコンウエハセパレーター新開発。
