0°から15°までのどんな角度でも素早く変換！傾斜スピンドル機能を搭載！
『7100シリーズ proVectus ダイシングシステム』は、傾斜スピンドル機能が 設計付与され、光学電子素材を垂直に切ると同時に、その後数分以内に 0°から15°の角度範囲内で傾斜ダイシングを行うよう調整が可能な装置です。 ブレード、ダイシングパラメータ及び貴社部品のために特に開発された 全体プロセスソリューションによってスピンドル角度の優れた調整により、 非常に正確な傾斜カットと表面仕上げを提供します。 これらのカッティングの品質は高く、別途研磨を行う必要性を完全に 排除しないまでも大いに軽減するものです。 光学電子部品製造業者のニーズに合致するように設計されています。 【特長】 ■垂直（0°）から15°までのどんな角度でも素早く変換 ■両方の角度設定がプログラム可能な専用操作ステーション ■フィールド微調整機能 ■角度再現性 0.1° ■分解能 0.1° ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【可能な傾斜ダイシング】 ■プレーナーウエーブガイド ・Si、Silica-on-Silicon ・Polymer on Si ・InP ・GaAs ■ファイバーウエーブガイド ・LiNbO3 ・Fused Silica ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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