（極）UHVアプリケーションの真空プロセス用
-シールはFLEX VATRING方式 -シール面の変形は弾性変形の範囲内 -標準的な六角レンチ、トルコ管理不要 -コンダクタンス大 -FLEX VATRINGは2回まで交換可能
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基本情報
リーク量（バルブボディ、バルブシート）: < 1 × 10-10 mbar ls-1 使用圧力範囲: XHV to 2 bar (abs) ゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 2 bar バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤ 1 bar バルブの寿命: ≥ 1,000 サイクル ベークアウト温度: ≤ 300 °C（開、閉位置において） 加熱および冷却速度: ≤ 60 °C h-1 材質（バルブボディ、メカニズム、ベローズ）: AISI 316L (1.4404, 1.4435) シール（ボンネット、プレート）: メタル 軸シール: ベローズ 取付け方向: 自由 バルブの開閉位置表示: 機械的な目視位置表示付き コンダクタンス（分子流）: DN16 5 ls-1 DN40 50 ls-1 DN63 105 ls-1 締切りに必要な力: 機械的に止まるまで閉める
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用途／実績例
極高真空での使用に最適
ラインアップ（3）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 54124-GE02 | 六角ヘッド |
| 54132-GE02 | 六角ヘッド |
| 54136-GE02 | 六角ヘッド |
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企業情報
半導体やディスプレイ、ソーラーパネルの製造や研究開発用途など真空を必要とする分野において、 最先端の研究開発および製造プロセス向けのミッションクリティカルなソリューションを提供するイノベーションパンパニーです。 イノベーションと卓越したエンジニアリングがVATのテクノロジーソリューションとサービスの原動力です。 VATが提供する製品やサービスは高度にカスタマイズされます。 これはお客様に妥協のないソリューションを提供するというVATの強い意志の表れです。 スイスで創業以来、過去60年にわたり、VATは日本を含むグローバルマーケットで真空バルブとその関連技術において 革新的なソリューションを開発、提供することで世界をリードする地位を築いてきました。