過酷なプロセスおよび高温に対応した設計
-短い開閉時間による高いスループット -過酷なプロセスおよび高温用の設計 -バルブのフランジの面間距離が小さい
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基本情報
開口サイズ: 50 × 500 mm～300 × 3000 mm (1.97“ × 19.69“～11.81“ × 118.11“) アクチュエータ 圧空作動式: 複動シリンダー リミットスイッチ付き ボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール 軸シール: Oリング軸シール リーク量 バルブボディ: < 1 × 10-7 mbar Is-1 バルブシート: < 1 × 10-5 mbar Is-1 ゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤1 bar バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤5 mbar 第一回サービスまでのサイクル数: 百万回 開/閉時間: ≤2 s（開口高さ100mm） 取付け方向: アクチュエータ上向、下向、横向 リミットスイッチ 電圧: 10 -30 V DC PNP (NPN optional)
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用途／実績例
PVセルおよび大型成膜装置用 お客様指定のデザインに柔軟に対応（例: 水冷、加熱プロセスからの保護）。
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企業情報
半導体やディスプレイ、ソーラーパネルの製造や研究開発用途など真空を必要とする分野において、 最先端の研究開発および製造プロセス向けのミッションクリティカルなソリューションを提供するイノベーションパンパニーです。 イノベーションと卓越したエンジニアリングがVATのテクノロジーソリューションとサービスの原動力です。 VATが提供する製品やサービスは高度にカスタマイズされます。 これはお客様に妥協のないソリューションを提供するというVATの強い意志の表れです。 スイスで創業以来、過去60年にわたり、VATは日本を含むグローバルマーケットで真空バルブとその関連技術において 革新的なソリューションを開発、提供することで世界をリードする地位を築いてきました。