軽量コンポーネントによる高速動作が可能な大型角型ゲートバルブ
-軽量コンポーネントによる高速動作速度 -メンテナンス中のシステム停止時間なし -3つの異なるサービスポジション -メンテナンス中の安全モード
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基本情報
リーク量: バルブボディ、バルブシート < 1 × 10-7 mbar Is-1 (< 1 × 10-8 Pa m3 s-1) バルブ閉方向のバルブボディおよびゲートにかけ得る許容最大差圧: ≤ 1 bar (≤ 1 × 10 -5 Pa) バルブを開けるときの許容最大差圧: ≤ 5 mbar (≤ 500 Pa) 開口サイズ: 100 × 1000 mm (3.94“ × 39.37“) ～ 300 × 3800 mm ( 11.81“ × 149.60“) リミットスイッチ/電圧: 24V DC PNP (NPN optional) 第一回サービスまでのサイクル数: 百万回 開/閉時間: ≤2 s（開口高さ150 mm） 軸シール: Oリング軸シール 取付け方向: アクチュエータ上向または下向
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用途／実績例
最大300x3800mmの開口を備えたFPD製造装置用の軽量バルブ
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企業情報
半導体やディスプレイ、ソーラーパネルの製造や研究開発用途など真空を必要とする分野において、 最先端の研究開発および製造プロセス向けのミッションクリティカルなソリューションを提供するイノベーションパンパニーです。 イノベーションと卓越したエンジニアリングがVATのテクノロジーソリューションとサービスの原動力です。 VATが提供する製品やサービスは高度にカスタマイズされます。 これはお客様に妥協のないソリューションを提供するというVATの強い意志の表れです。 スイスで創業以来、過去60年にわたり、VATは日本を含むグローバルマーケットで真空バルブとその関連技術において 革新的なソリューションを開発、提供することで世界をリードする地位を築いてきました。