ダイシング水の水問題を解決！産業廃棄物・運用コストを削減！
『AR-927水リサイクル装置』は、ダイシング水の水問題を解決する、 ダイシング水リサイクル装置です。 適した水質、温度、水量を保証。水消費の削減を実現します。 さらに、産業廃棄物や運用コストを削減するほか、 純水モジュールやUV洗浄などのオプションもご用意しております。 【特長】 ■水消費の削減 ■適した水質、温度、水量を保証 ■産業廃棄物の削減 ■運用コストを削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【主な機能】 ■循環容量 20リットル/分 ■微細ろ過 0.02ミクロン以下 ■ろ過フィルターは自己洗浄 【好適応用】 ■水圧変化が悩ましい ■温度変化が困る ■保守費用が高い ■環境規制が厳しい ■環境維持が注目される ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【主な応用分野と材質】 ■シリコンウエハ、セラミック部材 ■サファイヤ、アルミナ、ガラス ■超音波洗浄（PZT） ■光学部品（赤外線フィルター、PLC分光器） ■MEMESデバイスウエハ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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