使い勝手の良い真空プラズマ装置の廉価版！テフロン親水化や各種素材の撥水等に
使い勝手が良い卓上型の真空プラズマ装置「プラズマエッチャー」シリーズに新ラインナップ、セミオートタイプが登場！従来より更に小型化、省スペースでの設置が可能。 オート、マニュアルの両機能を備え更に使いやすくなりました。 タッチパネルでマニュアル操作や事前にレシピを設定し1ボタンの簡単操作も可能。 ステージサイズはφ100mm～φ1000mmで自由に選ぶことができます。 一般的なセラミック・金属・樹脂の親水化・接着強化の他、PTFE(テフロン)の処理や各種素材の撥水処理、エッチングや薄膜形成などにお使いいただけます。 オプションでの冷却機構やガス系統追加等のオーダーメイドも承っております。
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基本情報
・仕様 型式CPE-300S 外形寸法680(W)×785(D)×1020(H) チャンバー寸法Φ300mm, H30mm ※オプションで変更可能 重量80kg 電源出力300W(13.56MHz) ガス系統1系統 ※オプションにて複数系統対応可能 ガス制御マスフローコントローラー 電源100V, 15A (50Hz/60Hz)
価格情報
￥6,930,000 仕様によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
500万円 ~ 1000万円
納期
※3ヶ月
用途／実績例
【表面改質】 ・表面改質/ドライ洗浄/親水性の向上/接着効果の改善/ 印刷・塗装の前処理/有機物質の除去/濡れ性の向上/細胞培養等・・・ 【エッチング】 ・ドライエッチング(樹脂・金属・セラミックス) 【製膜】 ・SiO2膜、炭化水素膜などの形成 【実例】 ☆内容 ・PTFE(テフロン)の親水化・接着前処理 ・ガラスの洗浄・接着前処理 ・LSIの洗浄・接着前処理 ・樹脂成型品の洗浄・接着前処理 ・太陽電池、燃料電池 の基板洗浄 ・有機EL 、デジタルサイネージ関連ディスプレイ、液晶基板の端子洗浄 ・ワイヤーボンディングの前処理 ・フィルムの洗浄・接着前処理 ・MEMSの洗浄等 ・メッキ前洗浄 ・紙への印刷前処理 ・半導体プレート洗浄 ・シリコンウェハーの洗浄 等・・・・
企業情報
魁半導体は2002年9月に京都工芸繊維大学発のベンチャー企業として設立。プラズマ技術を用いた表面改質装置や堆積装置の販売をおこなっている。2010年に発売した粉体プラズマ装置は高い技術力が評価され『関西フロントランナー大賞』『中小企業技術賞』を受賞する。 全国の大学・産総研・大手メーカー・R&D部門で多数導入実績有り。 実物(デモ機)に触れて頂いてからの販売を提案します。 また、レンタル・リースにより、お客様のご負担を軽減したご使用方法も提案致します。 半導体関連以外にも、色々な技術相談を承っております。 また、石英やパイレックスの加工・販売を小ロットから承っております。 半導体関連以外にも、色々な技術相談を承っております。 また、石英やパイレックスの加工・販売を小ロットから承っております。
