無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.78です。【アルバック／ULVAC】
「ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.78」は、真空に関する最新技術資料です。 次世代半導体用ナノカーボン材料の開発動向をはじめ、大容量PCRAM 向け量産装置と プロセスの開発や、アルバックにおけるSiC パワーデバイスの量産技術開発進捗 などを掲載しています。 今なら最新技術資料を無料でプレゼント中です。 【掲載内容】 ■次世代半導体用ナノカーボン材料の開発動向 ■大容量PCRAM 向け量産装置とプロセスの開発 ■アルバックにおけるSiC パワーデバイスの量産技術開発進捗 ■プラズマ実験装置用クライオポンプ「CRYO-U48NF」の開発 ■4K-GM 冷凍機「UR4K シリーズ」の新機種開発 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【技術資料】 ■次世代半導体用ナノカーボン材料の開発動向 ・トランジスタ応用、配線応用、CNT の排熱応用 ■大容量PCRAM 向け量産装置とプロセスの開発 ・成膜プロセス，及び実際のデバイス評価結果について ■アルバックにおけるSiC パワーデバイスの量産技術開発進捗 ・SiC プロセスのキーテクノロジー、カーボンキャップと活性化アニール ■プラズマ実験装置用クライオポンプ「CRYO-U48NF」の開発 ・構造、特長 ■4K-GM 冷凍機「UR4K シリーズ」の新機種開発 ・新設計要素と開発結果について 他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。